我公司与北京航空航天大学合作研发的晶圆级磁光克尔测试仪被新华社和人民日报等多家媒体报道!

新华社原文链接:http://www.xinhuanet.com/2021-06/29/c_1127609770.htm

6月29日,致真精密仪器(青岛)有限公司与北京航空航天大学合作研发的晶圆级磁光克尔测试仪被新华社和人民日报等多家媒体报道。

6月24日,北航-致真精密仪器联合实验室的科研人员在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“100年”。新华社记者鞠焕宗摄

晶圆级磁光克尔测试仪是磁性芯片产线的必备设备。使用该设备,可以无损快速的检测晶圆上的磁性参数的空间分布情况,可满足磁传感芯片与磁存储芯片(MRAM)从材料表征、产品开发到量产阶段的磁性测量需求。当前,晶圆级磁光克尔测试仪的研发在国内尚属空白,设备供应严重依赖于进口。该产品的研发,可以填补国内工业级高端磁光测试设备的空白。目前,该仪器现已应用于科研领域,且预计于今年10月在产业领域投入商用,将提升我国集成电路高端测试装备的竞争力。

6月24日,北航-致真精密仪器联合实验室的科研人员在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“中国芯”。新华社记者鞠焕宗摄
6月24日,北航-致真精密仪器联合实验室的科研人员在用磁性笔尖检测纳米薄膜的磁性。新华社记者鞠焕宗摄

致真精密仪器(青岛)有限公司创始人张学莹博士在接受新华社采访时表示,制造磁性芯片的薄膜一般只有纳米级别的厚度,要想批量生产出性能优良的磁性芯片,对薄膜的均一性、灵敏性都有极高的要求。使用该测试设备,通过微小的磁性针尖在薄膜上写字,若字的颜色对比度一致、字迹清晰,则表明薄膜有良好的均匀性。完成平整度检测后,纳米薄膜将被制成器件,封装后形成芯片。

此前,我公司在北航-致真集成电路装备联合实验室的框架下,与北航团队合作,已经研发出了系列磁性测量设备,包括国内首台商用磁光克尔显微镜、磁光-磁滞回线测量仪、晶圆级磁场探针台等。此次,公司产品受到新华社的报道,标志着公司的研发实力以及产学研协同创新模式优势的发挥又迈向了新的高度。

致真精密仪器将始终围绕对国家战略需求和市场需求较大的产品展开研发,不断技术创新、追求卓越,持续向微电子测试领域若干“卡脖子”的问题发起攻关,为我国微电子行业的发展做出更大贡献。

样机体验:目前,致真精密仪器(青岛)有限公司可对相关领域感兴趣的科学工作者提供测样体验,欢迎感兴趣的老师或同学扫描下方二维码体验磁光克尔全新技术! 

责任编辑:朱凯琳