【晶圆级】半自动磁场探针台
【1】半自动面内磁场探针台PS1DX-Auto8

项目 | 详细参数 |
磁场方向及最大磁场强度 | 面内磁场;≥330 mT |
气隙是否可调 | 否 |
气隙尺寸 | 12 英寸晶圆(向下兼容碎片测试) |
探针类型及数量 | 直流探针(4 组)或微波探针(4 组) |
样品位移台参数 | XY 电控行程±150 mm,调节精度 2 μm;T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’ |
显微镜类型 | 单筒显微镜 |
产品简述 | ●面内磁场探针台,除磁铁外结构通用性设计,磁场均匀性±1%@φ1 mm; ●磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02 mT; ●最大容纳 12 英寸晶圆,且向下兼容 8 英寸、6 英寸、碎片; ●最大兼容 4 组探针(RF 或DC 测试); ●提供 Z 轴探针平台快速升降功能,实现高效测试。 |
设备可提供升级点 | ●Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。 |
【2】半自动垂直磁场探针台PS1DP-Auto8

项目 | 详细参数 |
磁场方向及最大磁场强度 | 垂直磁场;≥700 mT |
气隙是否可调 | 否 |
气隙尺寸 | 12 英寸晶圆(向下兼容碎片测试) |
探针类型及数量 | 直流探针(4 组)或微波探针(4 组) |
样品位移台参数 | XY 电控行程±150 mm,调节精度 2 μm;T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’ |
显微镜类型 | 单筒显微镜 |
产品简述 | ● 垂直磁场探针台,除磁铁外结构通用性设计,磁场均匀性±1%@φ1 mm。 ● 磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02 mT; ● 最大容纳12 英寸晶圆,且向下兼容8 英寸、6 英寸、碎片; ● 最大兼容4组探针(RF或DC测试); ● 提供Z 轴探针平台快速升降功能,实现高效测试。 |
设备可提供升级点 | ● Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。 |