【晶圆级】半自动磁场探针台
【1】半自动面内磁场探针台PS1DX-Auto8
| 项目 | 详细参数 |
| 磁场方向及最大磁场强度 | 面内磁场；≥330 mT |
| 气隙是否可调 | 否 |
| 气隙尺寸 | 12 英寸晶圆（向下兼容碎片测试） |
| 探针类型及数量 | 直流探针（4 组）或微波探针（4 组） |
| 样品位移台参数 | XY 电控行程±150 mm，调节精度 2 μm；T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’ |
| 显微镜类型 | 单筒显微镜 |
| 产品简述 | ●面内磁场探针台，除磁铁外结构通用性设计，磁场均匀性±1%@φ1 mm； ●磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02 mT； ●最大容纳 12 英寸晶圆，且向下兼容 8 英寸、6 英寸、碎片； ●最大兼容 4 组探针（RF 或DC 测试）； ●提供 Z 轴探针平台快速升降功能，实现高效测试。 |
| 设备可提供升级点 | ●Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。 |
【2】半自动垂直磁场探针台PS1DP-Auto8
| 项目 | 详细参数 |
| 磁场方向及最大磁场强度 | 垂直磁场；≥700 mT |
| 气隙是否可调 | 否 |
| 气隙尺寸 | 12 英寸晶圆（向下兼容碎片测试） |
| 探针类型及数量 | 直流探针（4 组）或微波探针（4 组） |
| 样品位移台参数 | XY 电控行程±150 mm，调节精度 2 μm；T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’ |
| 显微镜类型 | 单筒显微镜 |
| 产品简述 | ● 垂直磁场探针台，除磁铁外结构通用性设计，磁场均匀性±1%@φ1 mm。 ● 磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02 mT； ● 最大容纳12 英寸晶圆，且向下兼容8 英寸、6 英寸、碎片； ● 最大兼容4组探针（RF或DC测试）； ● 提供Z 轴探针平台快速升降功能，实现高效测试。 |
| 设备可提供升级点 | ●Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。 |
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