• 晶圆级手动面内磁场探针台
晶圆级手动面内磁场探针台
+
  • 产品描述
  • 技术指标
  • 应用案例
  • 客户成果
  • 产品型号:

    PS1D-Manu8

     

    产品简介:

    晶圆级手动面内磁场探针台PS1D-Manu8是一款专为晶圆测试设计的高精度设备,适用于实验室和企业的电学、磁学测量场景。该设备提供高均匀度的面内磁场,确保测试环境的稳定性;并向下兼容多尺寸样品,满足多样化的测试需求;通过手动调节的XY轴位移和360°旋转功能,用户能够精确控制样品位置;并搭配4组直流或微波探针,轻松实现磁电阻等测试功能。

    PS1D-Manu8将助力高效、精准的磁学/电学测量与分析。

     

  •  

    设备性能:

    指标 参数
    样品尺寸 8 英寸向下兼容
    磁场强度 50 mT
    磁场均匀性 优于 ±1%@φ1 mm
    磁场分辨率 PID 闭环反馈调节,分辨率 0.05 mT
    样品位移台 XY 手动行程 100 mm,调节分辨率1 μm,Z轴行程10 mm,调节分辨率10 μm,T轴 360° 旋转,调节分辨率 0.05°
    探针座 4 组直流探针
    光学放大倍率 0.75×~5×
    源表 N5173B、Keithley 6221、Keithley 2182A
    测试功能 RH 测试
  • 磁阻测试:

合作意向表

应用行业