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产品型号:
PS1D-Manu8
产品简介:
晶圆级手动面内磁场探针台PS1D-Manu8是一款专为晶圆测试设计的高精度设备,适用于实验室和企业的电学、磁学测量场景。该设备提供高均匀度的面内磁场,确保测试环境的稳定性;并向下兼容多尺寸样品,满足多样化的测试需求;通过手动调节的XY轴位移和360°旋转功能,用户能够精确控制样品位置;并搭配4组直流或微波探针,轻松实现磁电阻等测试功能。
PS1D-Manu8将助力高效、精准的磁学/电学测量与分析。
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设备性能:
指标 参数 样品尺寸 8 英寸向下兼容 磁场强度 50 mT 磁场均匀性 优于 ±1%@φ1 mm 磁场分辨率 PID 闭环反馈调节,分辨率 0.05 mT 样品位移台 XY 手动行程 100 mm,调节分辨率1 μm,Z轴行程10 mm,调节分辨率10 μm,T轴 360° 旋转,调节分辨率 0.05° 探针座 4 组直流探针 光学放大倍率 0.75×~5× 源表 N5173B、Keithley 6221、Keithley 2182A 测试功能 RH 测试 -
磁阻测试:


晶圆级手动面内磁场探针台
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