磁场探针台系列

【1】一维面内磁场探针台

型号：PS1DX-MS

项目	详细参数
磁场方向	面内
样品尺寸	30 mm*30 mm（最大）
气隙是否可调	是
气隙尺寸	0-70 mm 可调
直流测量	至多 4 组直流探针，并提供绑线直流测试座；适用反常霍耳效应、二次谐波测量
高频测量	可放置微波探针，且保证与磁场角度大于 30°，适用 ST-FMR 测试
样品位移台参数	XY 轴移动行程±15 mm，T 轴 360°电电控旋转
显微镜类型	单通显微镜
磁场方向及最大磁场强度	面内磁场（X）；气隙可调，微波测试时≥500 mT@30 mm
产品简述	●一维磁场探针台，提供面内磁场； ●面内磁铁极头可根据样品调整气隙，兼容性强； ●提供样品面内程控旋转功能，适合各向异性自动测试，如ST-FMR，磁电阻测试； ●兼容 ST-FMR 测试，磁场优于500 mT@30 mm气隙； ●提供直流测试座，包括面内磁场与垂直磁场方向。
设备可提供升 级点	样品多轴测试位移台升级为半自动

【2】一维垂直磁场探针台

型号：PS1DP-MS

项目	详细参数
磁场方向	垂直
样品尺寸	20 mm*20 mm（可升级 4 寸晶圆测试）
气隙是否可调	上轭铁可取下
气隙尺寸	7mm
探针类型及数量	直流探针（4 组）/微波探针（4 组）
样品位移台参数	XY 轴移动行程±15 mm，T 轴±5°精细调节
显微镜类型	单通显微镜
磁场方向及最大磁场强度	垂直磁场（Z）；≥1200 mT
产品简述	●一维磁场探针台，提供垂直磁场；磁场均匀性±1%@φ2 mm； ●磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02mT； ●垂直磁铁上导磁轭铁可移动，方便扎针时显微镜观察； ●可保证 4 组 直流探针同时测试使用；微波探针可放置 4 组。
设备可提供升 级点	●样品多轴测试位移台升级为半自动； ●探针平面快速升降功能； ●可升级为 4 寸晶圆磁场探针台。

【3】探针台测试系统及实验技术培训

型号：PS1D-Plus

设备用途：磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR

领域：导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标：

1、面内磁场：最大0.5T@3cm磁极间距，1T@1.5cm磁极间距，磁场均匀性优于 ±1%@2mm，分辨率优于0.02mT，样品尺寸 ≤30mm*30mm，4探针

2、垂直磁场：最大场强≥1200 mT，样品尺寸 ≤20mm*20mm，磁场均匀性优于 ±1%@2mm，分辨率优于0.02mT，4探针

3、含探针台测试系统及实验技术培训服务

【4】SpinPumping测试系统

型号：PS1D-SP

设备用途：自旋泵浦效应Spin pumping、铁磁共振FMR测试

领域：导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标：

1、面内磁场：最大0.5T@3cm磁极间距，1T@1.5cm磁极间距，磁场均匀性优于 ±1%@2mm，分辨率优于0.02mT，样品尺寸 ≤30mm*30mm，4探针
2、垂直磁场：最大场强≥1200 mT，样品尺寸 ≤20mm*20mm，磁场均匀性优于 ±1%@2mm，分辨率优于0.02mT，4探针
3、高频信号频率：20 GHz
4、含自旋泵浦效应Spin pumping、铁磁共振FMR效应测试控制程序及培训

【5】二维磁场探针台

型号：PS2DY-MS

项目	详细参数
磁场方向	X、Z
样品尺寸	40 mm*40 mm（最大）
气隙是否可调	是
气隙尺寸	40 mm/25 mm/12 mm 可选
探针类型及数量	最多支持 7 组探针同时放置：直流探针（3 组）+ 微波探针（4 组）
样品位移台参数	XY 轴位移行程±12.5 mm，T 轴旋转±5°
显微镜类型	体视显微镜/单筒显微镜
磁场方向及最大磁场强度	面内磁场（X），≥800 mT@12 mm； 垂直磁场（Z），≥140 mT； 面内磁场单独施加时，磁场垂直分量优于 0.025%
产品简述	●二维磁场探针台，包含两组磁铁，可同时提供垂直与面内磁场，磁场均匀性±1%@φ1 mm； ●磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02mT； ●面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得最大磁场，兼容性强； ●最多兼容7组探针同时使用（4组微波，3组直流）； ●Y 轴提供大行程位移装置，在不移动探针情况下快速抽拉更换样品； ●配备样品台倾斜微调旋钮，确保样品平面平行于面内磁场方向。
设备可提供升 级点	●样品多轴测试位移台升级为半自动； ●增加探针平面快速升降功能，便于多点重复测量。

【6】晶圆级半自动面内磁场探针台

型号：PS1DX-Auto8

项目	详细参数
磁场方向及最大磁场强度	面内磁场；≥330 mT
气隙是否可调	否
气隙尺寸	12 英寸晶圆（向下兼容碎片测试）
探针类型及数量	直流探针（4 组）或微波探针（4 组）
样品位移台参数	XY 电控行程±150 mm，调节精度 2 μm；T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’
显微镜类型	单筒显微镜
产品简述	●面内磁场探针台，除磁铁外结构通用性设计，磁场均匀性±1%@φ1 mm； ●磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02 mT； ●最大容纳 12 英寸晶圆，且向下兼容 8 英寸、6 英寸、碎片； ●最大兼容 4 组探针（RF 或DC 测试）； ●提供 Z 轴探针平台快速升降功能，实现高效测试。
设备可提供升级点	●Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。

【7】晶圆级半自动垂直磁场探针台

型号：PS1DP-Auto8

项目	详细参数
磁场方向及最大磁场强度	垂直磁场；≥700 mT
气隙是否可调	否
气隙尺寸	12 英寸晶圆（向下兼容碎片测试）
探针类型及数量	直流探针（4 组）或微波探针（4 组）
样品位移台参数	XY 电控行程±150 mm，调节精度 2 μm；T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’
显微镜类型	单筒显微镜
产品简述	● 垂直磁场探针台，除磁铁外结构通用性设计，磁场均匀性±1%@φ1 mm。 ● 磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02 mT； ● 最大容纳12 英寸晶圆，且向下兼容8 英寸、6 英寸、碎片； ● 最大兼容4组探针（RF或DC测试）； ● 提供Z 轴探针平台快速升降功能，实现高效测试。
设备可提供升级点	● Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。

【8】晶圆级探针台高端测试解决方案

型号：PS1D-Auto-Plus

设备用途：MRAM及磁传感器综合性能表征

领域：半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标：

1、面内磁场：最大场强≥330 mT，样品尺寸12寸及以下，磁场均匀性优于 ±1%@1mm，分辨率优于0.02mT，4探针，可Z轴快速升降

2、最大场强≥200 mT，样品尺寸6寸及以下，磁场均匀性优于 ±1%@1mm，分辨率优于0.05mT，4探针，可Z轴快速升降

3、含探针台测试系统实验技术培训服务

【9】低温磁场探针台（面内）

型号：PS1DX-Cryo

设备用途：磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR、SpinPumping

领域：半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标：

磁场优于0.65T@30mm气隙，磁场均匀性优于 ±1%@2mm，分辨率优于0.02mT，样品尺寸 ≤30mm*30mm，4探针，低温至4K，兼容微波探针

【10】低温磁场探针台（垂直）

型号：PS1DP-Cryo

设备用途：磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR、SpinPumping

领域：半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标：

最大场强≥3T，样品尺寸 ≤20mm*20mm，磁场均匀性优于 ±1%@2mm，分辨率优于0.02mT，4探针，低温至4K，兼容微波探针