【1】一维面内磁场探针台PS1D-MS
| 项目 | 详细参数 |
| 磁场方向 | 面内 |
| 样品尺寸 | 30 mm*30 mm（最大） |
| 气隙是否可调 | 是 |
| 气隙尺寸 | 0-70 mm 可调 |
| 直流测量 | 至多 4 组直流探针，并提供绑线直流测试座；适用反常霍耳效应、二次谐波测量 |
| 高频测量 | 可放置微波探针，且保证与磁场角度大于 30°，适用 ST-FMR 测试 |
| 样品位移台参数 | XY 轴移动行程±15 mm，T 轴 360°电电控旋转 |
| 显微镜类型 | 单通显微镜 |
| 磁场方向及最大磁场强度 | 面内磁场（X）；气隙可调，微波测试时≥500 mT@30 mm |
| 产品简述 | ●一维磁场探针台，提供面内磁场； ●面内磁铁极头可根据样品调整气隙，兼容性强； ●提供样品面内程控旋转功能，适合各向异性自动测试，如 ●ST-FMR，磁电阻测试； ●兼容 ST-FMR 测试，磁场优于500 mT@30 mm气隙； ●提供直流测试座，包括面内磁场与垂直磁场方向。 |
| 设备可提供升 级点 | 样品多轴测试位移台升级为半自动 |
【2】一维垂直磁场探针台 PS1D-MS
| 项目 | 详细参数 |
| 磁场方向 | 垂直 |
| 样品尺寸 | 20 mm*20 mm（可升级 4 寸晶圆测试） |
| 气隙是否可调 | 上轭铁可取下 |
| 气隙尺寸 | 7mm |
| 探针类型及数量 | 直流探针（4 组）/微波探针（4 组） |
| 样品位移台参数 | XY 轴移动行程±15 mm，T 轴±5°精细调节 |
| 显微镜类型 | 单通显微镜 |
| 磁场方向及最大磁场强度 | 垂直磁场（Z）；≥1200 mT |
| 产品简述 | ●一维磁场探针台，提供垂直磁场；磁场均匀性±1%@φ2 mm； ●磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02mT； ●垂直磁铁上导磁轭铁可移动，方便扎针时显微镜观察； ●可保证 4 组 直流探针同时测试使用；微波探针可放置 4 组。 |
| 设备可提供升 级点 | ●样品多轴测试位移台升级为半自动； ●探针平面快速升降功能； ●可升级为 4 寸晶圆磁场探针台。 |
【3】二维磁场探针台 PS2PY-MS
| 项目 | 详细参数 |
| 磁场方向 | X、Z |
| 样品尺寸 | 40 mm*40 mm（最大） |
| 气隙是否可调 | 是 |
| 气隙尺寸 | 40 mm/25 mm/12 mm 可选 |
| 探针类型及数量 | 最多支持 7 组探针同时放置：直流探针（3 组）+ 微波探针（4 组） |
| 样品位移台参数 | XY 轴位移行程±12.5 mm，T 轴旋转±5° |
| 显微镜类型 | 体视显微镜/单筒显微镜 |
| 磁场方向及最大磁场强度 | 面内磁场（X），≥800 mT@12 mm； 垂直磁场（Z），≥140 mT； 面内磁场单独施加时，磁场垂直分量优于 0.025% |
| 产品简述 | ●二维磁场探针台，包含两组磁铁，可同时提供垂直与面内磁场，磁场均匀性±1%@φ1 mm； ●磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02mT； ●面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得最大磁场，兼容性强； ●最多兼容7组探针同时使用（4组微波，3组直流）； ●Y 轴提供大行程位移装置，在不移动探针情况下快速抽拉更换样品； ●配备样品台倾斜微调旋钮，确保样品平面平行于面内磁场方向。 |
| 设备可提供升 级点 | ●样品多轴测试位移台升级为半自动； ●增加探针平面快速升降功能，便于多点重复测量。 |
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