【1】一维面内磁场探针台
型号:PS1DX-MS

项目 | 详细参数 |
磁场方向 | 面内 |
样品尺寸 | 30 mm*30 mm(最大) |
气隙是否可调 | 是 |
气隙尺寸 | 0-70 mm 可调 |
直流测量 | 至多 4 组直流探针,并提供绑线直流测试座;适用反常霍耳效应、二次谐波测量 |
高频测量 | 可放置微波探针,且保证与磁场角度大于 30°,适用 ST-FMR 测试 |
样品位移台参数 | XY 轴移动行程±15 mm,T 轴 360°电电控旋转 |
显微镜类型 | 单通显微镜 |
磁场方向及最大磁场强度 | 面内磁场(X);气隙可调,微波测试时≥500 mT@30 mm |
产品简述 | ●一维磁场探针台,提供面内磁场; ●面内磁铁极头可根据样品调整气隙,兼容性强; ●提供样品面内程控旋转功能,适合各向异性自动测试,如ST-FMR,磁电阻测试; ●兼容 ST-FMR 测试,磁场优于500 mT@30 mm气隙; ●提供直流测试座,包括面内磁场与垂直磁场方向。 |
设备可提供升 级点 | 样品多轴测试位移台升级为半自动 |
【2】一维垂直磁场探针台
型号:PS1DP-MS

项目 | 详细参数 |
磁场方向 | 垂直 |
样品尺寸 | 20 mm*20 mm(可升级 4 寸晶圆测试) |
气隙是否可调 | 上轭铁可取下 |
气隙尺寸 | 7mm |
探针类型及数量 | 直流探针(4 组)/微波探针(4 组) |
样品位移台参数 | XY 轴移动行程±15 mm,T 轴±5°精细调节 |
显微镜类型 | 单通显微镜 |
磁场方向及最大磁场强度 | 垂直磁场(Z);≥1200 mT |
产品简述 | ●一维磁场探针台,提供垂直磁场;磁场均匀性±1%@φ2 mm; ●磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02mT; ●垂直磁铁上导磁轭铁可移动,方便扎针时显微镜观察; ●可保证 4 组 直流探针同时测试使用;微波探针可放置 4 组。 |
设备可提供升 级点 | ●样品多轴测试位移台升级为半自动; ●探针平面快速升降功能; ●可升级为 4 寸晶圆磁场探针台。 |
【3】探针台测试系统及实验技术培训
型号:PS1D-Plus
设备用途:磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR
领域:导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件
技术指标:
1、面内磁场:最大0.5T@3cm磁极间距,1T@1.5cm磁极间距,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,样品尺寸 ≤30mm*30mm,4探针
2、垂直磁场:最大场强≥1200 mT,样品尺寸 ≤20mm*20mm,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,4探针
3、含探针台测试系统及实验技术培训服务
【4】SpinPumping测试系统
型号:PS1D-SP
设备用途:自旋泵浦效应Spin pumping、铁磁共振FMR测试
领域:导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件
技术指标:
1、面内磁场:最大0.5T@3cm磁极间距,1T@1.5cm磁极间距,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,样品尺寸 ≤30mm*30mm,4探针
2、垂直磁场:最大场强≥1200 mT,样品尺寸 ≤20mm*20mm,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,4探针
3、高频信号频率:20 GHz
4、含自旋泵浦效应Spin pumping、铁磁共振FMR效应测试控制程序及培训
【5】二维磁场探针台
型号:PS2DY-MS

项目 | 详细参数 |
磁场方向 | X、Z |
样品尺寸 | 40 mm*40 mm(最大) |
气隙是否可调 | 是 |
气隙尺寸 | 40 mm/25 mm/12 mm 可选 |
探针类型及数量 | 最多支持 7 组探针同时放置:直流探针(3 组)+ 微波探针(4 组) |
样品位移台参数 | XY 轴位移行程±12.5 mm,T 轴旋转±5° |
显微镜类型 | 体视显微镜/单筒显微镜 |
磁场方向及最大磁场强度 | 面内磁场(X),≥800 mT@12 mm; 垂直磁场(Z),≥140 mT; 面内磁场单独施加时,磁场垂直分量优于 0.025% |
产品简述 | ●二维磁场探针台,包含两组磁铁,可同时提供垂直与面内磁场,磁场均匀性±1%@φ1 mm; ●磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02mT; ●面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得最大磁场,兼容性强; ●最多兼容7组探针同时使用(4组微波,3组直流); ●Y 轴提供大行程位移装置,在不移动探针情况下快速抽拉更换样品; ●配备样品台倾斜微调旋钮,确保样品平面平行于面内磁场方向。 |
设备可提供升 级点 | ●样品多轴测试位移台升级为半自动; ●增加探针平面快速升降功能,便于多点重复测量。 |
【6】晶圆级半自动面内磁场探针台
型号:PS1DX-Auto8

项目 | 详细参数 |
磁场方向及最大磁场强度 | 面内磁场;≥330 mT |
气隙是否可调 | 否 |
气隙尺寸 | 12 英寸晶圆(向下兼容碎片测试) |
探针类型及数量 | 直流探针(4 组)或微波探针(4 组) |
样品位移台参数 | XY 电控行程±150 mm,调节精度 2 μm;T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’ |
显微镜类型 | 单筒显微镜 |
产品简述 | ●面内磁场探针台,除磁铁外结构通用性设计,磁场均匀性±1%@φ1 mm; ●磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02 mT; ●最大容纳 12 英寸晶圆,且向下兼容 8 英寸、6 英寸、碎片; ●最大兼容 4 组探针(RF 或DC 测试); ●提供 Z 轴探针平台快速升降功能,实现高效测试。 |
设备可提供升级点 | ●Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。 |
【7】晶圆级半自动垂直磁场探针台
型号:PS1DP-Auto8

项目 | 详细参数 |
磁场方向及最大磁场强度 | 垂直磁场;≥700 mT |
气隙是否可调 | 否 |
气隙尺寸 | 12 英寸晶圆(向下兼容碎片测试) |
探针类型及数量 | 直流探针(4 组)或微波探针(4 组) |
样品位移台参数 | XY 电控行程±150 mm,调节精度 2 μm;T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’ |
显微镜类型 | 单筒显微镜 |
产品简述 | ● 垂直磁场探针台,除磁铁外结构通用性设计,磁场均匀性±1%@φ1 mm。 ● 磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02 mT; ● 最大容纳12 英寸晶圆,且向下兼容8 英寸、6 英寸、碎片; ● 最大兼容4组探针(RF或DC测试); ● 提供Z 轴探针平台快速升降功能,实现高效测试。 |
设备可提供升级点 | ● Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。 |
【8】晶圆级探针台高端测试解决方案
型号:PS1D-Auto-Plus
设备用途:MRAM及磁传感器综合性能表征
领域:半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件
技术指标:
1、面内磁场:最大场强≥330 mT,样品尺寸12寸及以下,磁场均匀性优于 ±1%@1mm,分辨率优于0.02mT,4探针,可Z轴快速升降
2、最大场强≥200 mT,样品尺寸6寸及以下,磁场均匀性优于 ±1%@1mm,分辨率优于0.05mT,4探针,可Z轴快速升降
3、含探针台测试系统实验技术培训服务
【9】低温磁场探针台(面内)
型号:PS1DX-Cryo
设备用途:磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR、SpinPumping
领域:半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件
技术指标:
磁场优于0.65T@30mm气隙,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,样品尺寸 ≤30mm*30mm,4探针,低温至4K,兼容微波探针
【10】低温磁场探针台(垂直)
型号:PS1DP-Cryo
设备用途:磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR、SpinPumping
领域:半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件
技术指标:
最大场强≥3T,样品尺寸 ≤20mm*20mm,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,4探针,低温至4K,兼容微波探针