• 磁场探针台系列

磁场探针台系列

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【1】一维面内磁场探针台 型号:PS1DX-MS 三维效果图 项目详细参数磁场方向面内样品尺寸30 mm*30 mm(最大)气隙是否可调是气隙尺寸0-70 mm 可调直流测量至多 4 组直流探针,并提供绑线直流测试座;适...

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产品详情

【1】一维面内磁场探针台

型号:PS1DX-MS

三维效果图
项目详细参数
磁场方向面内
样品尺寸30 mm*30 mm(最大)
气隙是否可调
气隙尺寸0-70 mm 可调
直流测量至多 4 组直流探针,并提供绑线直流测试座;适用反常霍耳效应、二次谐波测量
高频测量可放置微波探针,且保证与磁场角度大于 30°,适用 ST-FMR 测试
样品位移台参数XY 轴移动行程±15 mm,T 轴 360°电电控旋转
显微镜类型单通显微镜
磁场方向及最大磁场强度面内磁场(X);气隙可调,微波测试时≥500 mT@30 mm
产品简述●一维磁场探针台,提供面内磁场;
●面内磁铁极头可根据样品调整气隙,兼容性强;
●提供样品面内程控旋转功能,适合各向异性自动测试,如ST-FMR,磁电阻测试;
●兼容 ST-FMR 测试,磁场优于500 mT@30 mm气隙;
●提供直流测试座,包括面内磁场与垂直磁场方向。
设备可提供升
级点
样品多轴测试位移台升级为半自动

【2】一维垂直磁场探针台

型号:PS1DP-MS

三维效果图
项目详细参数
磁场方向垂直
样品尺寸20 mm*20 mm(可升级 4 寸晶圆测试)
气隙是否可调上轭铁可取下
气隙尺寸7mm
探针类型及数量直流探针(4 组)/微波探针(4 组)
样品位移台参数XY 轴移动行程±15 mm,T 轴±5°精细调节
显微镜类型单通显微镜
磁场方向及最大磁场强度垂直磁场(Z);≥1200 mT
产品简述●一维磁场探针台,提供垂直磁场;磁场均匀性±1%@φ2 mm;
●磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02mT;
●垂直磁铁上导磁轭铁可移动,方便扎针时显微镜观察;
●可保证 4 组 直流探针同时测试使用;微波探针可放置 4 组。
设备可提供升
级点
●样品多轴测试位移台升级为半自动;
●探针平面快速升降功能;
●可升级为 4 寸晶圆磁场探针台。

【3】探针台测试系统及实验技术培训

型号:PS1D-Plus

设备用途:磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR

领域:导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标:

1、面内磁场:最大0.5T@3cm磁极间距,1T@1.5cm磁极间距,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,样品尺寸 ≤30mm*30mm,4探针

2、垂直磁场:最大场强≥1200 mT,样品尺寸 ≤20mm*20mm,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,4探针

3、含探针台测试系统及实验技术培训服务

【4】SpinPumping测试系统

型号:PS1D-SP

设备用途:自旋泵浦效应Spin pumping、铁磁共振FMR测试

领域:导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标:

1、面内磁场:最大0.5T@3cm磁极间距,1T@1.5cm磁极间距,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,样品尺寸 ≤30mm*30mm,4探针
2、垂直磁场:最大场强≥1200 mT,样品尺寸 ≤20mm*20mm,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,4探针
3、高频信号频率:20 GHz
4、含自旋泵浦效应Spin pumping、铁磁共振FMR效应测试控制程序及培训

【5】二维磁场探针台

型号:PS2DY-MS

三维效果图
项目详细参数
磁场方向X、Z
样品尺寸40 mm*40 mm(最大)
气隙是否可调
气隙尺寸40 mm/25 mm/12 mm 可选
探针类型及数量最多支持 7 组探针同时放置:直流探针(3 组)+ 微波探针(4 组)
样品位移台参数XY 轴位移行程±12.5 mm,T 轴旋转±5°
显微镜类型体视显微镜/单筒显微镜
磁场方向及最大磁场强度面内磁场(X),≥800 mT@12 mm;
垂直磁场(Z),≥140 mT;
面内磁场单独施加时,磁场垂直分量优于 0.025%
产品简述●二维磁场探针台,包含两组磁铁,可同时提供垂直与面内磁场,磁场均匀性±1%@φ1 mm;
●磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02mT;
●面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得最大磁场,兼容性强;
●最多兼容7组探针同时使用(4组微波,3组直流);
●Y 轴提供大行程位移装置,在不移动探针情况下快速抽拉更换样品;
●配备样品台倾斜微调旋钮,确保样品平面平行于面内磁场方向。
设备可提供升
级点
●样品多轴测试位移台升级为半自动;
●增加探针平面快速升降功能,便于多点重复测量。

【6】晶圆级半自动面内磁场探针台

型号:PS1DX-Auto8

三维效果图
项目详细参数
磁场方向及最大磁场强度面内磁场;≥330 mT
气隙是否可调
气隙尺寸12 英寸晶圆(向下兼容碎片测试)
探针类型及数量直流探针(4 组)或微波探针(4 组)
样品位移台参数XY 电控行程±150 mm,调节精度 2 μm;T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’
显微镜类型单筒显微镜
产品简述●面内磁场探针台,除磁铁外结构通用性设计,磁场均匀性±1%@φ1 mm;
●磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02 mT;
●最大容纳 12 英寸晶圆,且向下兼容 8 英寸、6 英寸、碎片;
●最大兼容 4 组探针(RF 或DC 测试);
●提供 Z 轴探针平台快速升降功能,实现高效测试。
设备可提供升级点●Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。

【7】晶圆级半自动垂直磁场探针台

型号:PS1DP-Auto8

三维效果图
项目详细参数
磁场方向及最大磁场强度垂直磁场;≥700 mT
气隙是否可调
气隙尺寸12 英寸晶圆(向下兼容碎片测试)
探针类型及数量直流探针(4 组)或微波探针(4 组)
样品位移台参数XY 电控行程±150 mm,调节精度 2 μm;T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’
显微镜类型单筒显微镜
产品简述● 垂直磁场探针台,除磁铁外结构通用性设计,磁场均匀性±1%@φ1 mm。
● 磁场强度实时监测反馈,监测精度优于1%,磁场分辨率优于0.02 mT;
● 最大容纳12 英寸晶圆,且向下兼容8 英寸、6 英寸、碎片;
● 最大兼容4组探针(RF或DC测试);
● 提供Z 轴探针平台快速升降功能,实现高效测试。
设备可提供升级点● Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。

【8】晶圆级探针台高端测试解决方案

型号:PS1D-Auto-Plus

设备用途:MRAM及磁传感器综合性能表征

领域:半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标:

1、面内磁场:最大场强≥330 mT,样品尺寸12寸及以下,磁场均匀性优于 ±1%@1mm,分辨率优于0.02mT,4探针,可Z轴快速升降

2、最大场强≥200 mT,样品尺寸6寸及以下,磁场均匀性优于 ±1%@1mm,分辨率优于0.05mT,4探针,可Z轴快速升降

3、含探针台测试系统实验技术培训服务

【9】低温磁场探针台(面内)

型号:PS1DX-Cryo

设备用途:磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR、SpinPumping

领域:半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标:

磁场优于0.65T@30mm气隙,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,样品尺寸 ≤30mm*30mm,4探针,低温至4K,兼容微波探针

【10】低温磁场探针台(垂直)

型号:PS1DP-Cryo

设备用途:磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR、SpinPumping

领域:半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件

技术指标:

最大场强≥3T,样品尺寸 ≤20mm*20mm,磁场均匀性优于 ±1%@2mm,分辨率优于0.02mT,4探针,低温至4K,兼容微波探针

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