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工业级晶圆磁光克尔测量仪

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利用极向磁光克尔效应(MOKE),快速全局检测晶圆膜堆的磁性。非接触式测量,避免了传统磁性表征对晶圆的破坏,可应用于图形化前后的样品检测。

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产品详情

产品简介:

利用极向磁光克尔效应(MOKE),快速全局检测晶圆膜堆的磁性。非接触式测量,避免了传统磁性表征对晶圆的破坏,可应用于图形化前后的样品检测。高达2.5 T垂直磁场,可诱导垂直各向异性磁性随机存储器(MRAM)膜堆的自由层、参考层与钉扎层的翻转;超高克尔检出灵敏度,可以单次同时表征不同膜层的细微磁性变化。将激光逐点探测与扫描成像结合,可以快速创建晶圆磁特性全局图谱,辅助工艺优化与良率控制。

功能及应用场景:

  1. 磁性随机存储器膜堆和器件阵列的垂直磁滞回线测量(Polar Kerr for MRAM);
  2. 磁盘等磁存储介质的垂直磁滞回线测量(Polar Kerr for PMR Disk);
  3. 自动提取磁滞回线信息,如自由层和钉扎层HcHex等,可快速绘制晶圆的磁性特性分布图;
  4. 系统预置单点、阵列、环形分布等扫点模式,且支持自定义位置列表的导入;
  5. 系统提供手动加载或全自动操作方式,满足研发/生产需求。

性能指标及优势:

  • 样品尺寸:最大支持8吋晶圆测试且向下兼容,支持碎片测试;
  • 磁场:最大垂直磁场优于±2.5 T,磁场分辨率1 μT;
  • 磁性检测灵敏度:克尔转角检出度优于0.3 mdeg(RMS),适用多层膜堆的磁性表征;
  • 样品重复定位精度:优于±1 μm,静态抖动≤±0.25 μm。
垂直各向异性磁隧道结膜堆的磁滞回线测量结果
8吋垂直磁各向异性晶圆的矫顽场特性分布图

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