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设备名称:多功能高分辨率磁光克尔显微镜系统

生产厂家:自主研发

概要:航青岛微电子研究院自主开发的极向磁光克尔显微镜。以奥林巴斯镜架及光学元件为基础,实现高分辨率磁光克尔成像功能。同时,配备探针台,真空吸附探针座、多维度磁场,能够满足各种维度磁场、电学交叉的测试。

性能指标:

分辨率:400 nm

面内磁场:交变、最高可达5k Oe

垂直磁场1:交变、最高可达2 kOe

垂直磁场2: 300 Oe,反应速度200 μs (标配);反应速度1μs (定制);

真空吸附探针座座:可配置直流探针(标配)和微波探针(定制);

控制系统额外留出电脉冲信号输出接口:20 MHz、10V峰值;

变温范围(4K-500K,需定制,采用德国CryoVac低温腔)

主要应用:

垂直各向异性薄膜材料及自旋电子器件的磁畴成像[1-3]。

各维度磁场、电流共同作用下的磁畴动力学。自旋转移矩(STT)、自旋轨道矩(SOT)诱导的磁性翻转成像。

斯格明子泡(skyrmionic bubble,直径500 nm以上)的成像和动力学。

Dzyaloshinskii-Moriya作用(DMI)等效场测量[1]。