磁光克尔显微成像系统入选2021山东精品装备名录

近日,山东省工业和信息化厅发布了《2021山东精品装备名录》,全省共入选179件装备产品,致真精密仪器研发的多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统成功入选该名录。

山东精品装备是指山东省企业生产的技术指标达到国内领先或国际先进,产品性能国内一流,外观设计精致美观,质量安全稳定可靠,具有自主知识产权和品牌,能代表行业先进水平,凸显工匠精神和创新成果的“专精特新”装备。

多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统主要应用于集成电路装备领域,是利用磁光克尔效应对磁性样品或者自旋电子器件的磁化状态进行成像的设备,是进行磁性物理研究和磁存储芯片/磁传感芯片研发过程中重要的设备。此前,中国尚未拥有该设备的商业化制造能力。致真精密仪器于2020年研发出国内首台商业化多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统,并实现了产业化转化,解决了磁性材料和磁性芯片研发制造领域的“卡脖子” 问题,此次名录的入选是对致真精密仪器所研发产品的充分肯定。

编辑:朱凯琳