- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
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产品型号：
AtomMax
产品简介：
利用微悬臂探针结构，可对导体、半导体、绝缘体等固体材料进行三维样貌表征，可实现大晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合，可在300X300 mm 区域实现1 μm的定位精度；激光对准、探针逼近和扫描参数调整，完全自动化操作。
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样品尺寸 8寸晶圆并向下兼容 扫描范围 最大100 μmX100 μmX10 μm 扫描角度 0-360° 分辨率 Z轴闭环分辨率0.15 nm；X/Y闭环分辨率0.5 nm 扫描探针XY方向图像分辨率 不小于32X32~4000X4000 工作模式 接触模式、轻敲模式、相位成像模式、抬起模式、多向扫描模式 多功能测量 静电力显微镜(EFM)、扫描开尔文显微镜(KPFM)、压电力显微镜(PFM)、磁力显微镜(MFM) -
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