- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
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产品型号：
AtomMax
产品简介：
AtomMax晶圆级原子力显微镜利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘体等固体材料进行亚纳米级三维扫描成像，可实现晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合，可在200×200 mm区域实现1 µm的定位精度，光学结构与扫描头集成一体，自动化程度高，操作便捷。
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样品尺寸 8英寸晶圆并向下兼容 扫描范围 最大100 μmX100 μmX10 μm 扫描角度 0-360° 分辨率 Z轴闭环分辨率0.05nm；X/Y闭环分辨率0.5 nm 扫描探针XY方向图像分辨率 32×32~4096×4096 工作模式 接触模式、轻敲模式、相位成像模式、抬起模式、多向扫描模式 多功能测量 静电力显微镜(EFM)、开尔文探针力显微镜(KPFM)、压电力显微镜(PFM)、磁力显微镜(MFM)； -
晶圆粗糙度测量
晶圆沟槽深度测量
应用案例
CZTSSe薄膜
开尔文探针力显微镜(KPFM)
Au-Ti条带状电极片
静电力显微镜(EFM)
Sr/Bi/Te二维材料
磁力显微镜(MFM)
钛酸铅-铌镁酸铅
压电力显微镜(PFM)
SiC晶须
轻敲模式
8英寸晶圆片样品
轻敲模式
合作意向表
应用行业
—— 精益求精，追求卓越。用精密仪器赋能科技创新，为先进制造提供可靠装备。
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