- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
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产品型号：
Spin Tester M/S
产品简介：
3D全自动磁场探针台主要面向晶圆片在磁场作用下的快速磁性能或电性能表征,其集成了三维磁场发生器和先进的可定制硬件,为磁性器件(磁传感器和磁存储器)的开发、工艺和生产带来了完整的测试解决方案。可满足MRAM晶圆的磁性能与电性能表征需求,通过磁场(面内/垂直)的精确控制测量器件的磁阻特性。结合脉冲发生模块可测量器件的RV曲线、翻转概率Psw误码率WER与循环特性等;可测量磁传感器件偏置特性、工作区间、线性度等参数。
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样品尺寸 8英寸/12英寸 X、Y轴磁场 300 mT Z轴磁场 600 mT XY方向磁场均匀性 优于±1%φ0.5 mm Z方向磁场均匀性 优于±1%φ0.8 mm 剩磁 ±0.1 最高磁场周期 20 Hz 磁场分辨率 0.1 mT 旋转磁场角度 1° 探针卡 兼容 TMR senser测试 单通道RH测试、8通道RH测试 MRAM测试 RH测试、超快电脉冲写入特性(RV曲线)测试、写入误码率(WER)/读取误码率测试、写入翻转概率(Psw)测试、VCMA测试、翻转动态测试 定制服务 磁场可根据实际使用需求定制 -
MRAM器件RV测试结果
磁电阻RH测试数据(3 Hz, 10 cycles)
TMR角度传感器Vsin、Vcos电压随角度变化关系
施加偏压进行SOT-MRAM器件的VCMA-Psw测试
3D全自动磁场探针台
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