致真精密仪器：以参数定义国产原子力显微镜新基准，国产原子力厂家推荐
发布时间：
2025-04-18
在纳米表征领域，原子力显微镜（AFM）的技术参数直接决定微观检测的精度与效率。作为国产高端仪器代表，致真精密仪器基于材料科学、半导体检测等领域的实际需求，研发出兼具高精度与自动化优势的原子力显微镜，以扎实的参数性能树立行业新标杆。
一、全材料兼容的微观观测体系
仪器采用优化设计的微悬臂探针结构，支持导体（如铜互连层）、半导体（如硅晶圆）、绝缘体（如陶瓷基板）等全类型固体材料的三维形貌表征。针对半导体行业主流的 8 英寸晶圆及以下尺寸样品，通过电动样品定位台与光学导航系统的配合，实现 300mm×300mm 区域内 1μm 精度的自动定位，无需人工校准即可覆盖晶圆边缘区域，解决传统设备边缘检测盲区问题。
二、多维度高精度扫描能力
在核心性能参数上，致真 AFM 展现出对标国际一流的水准：
- 空间分辨率：Z 轴闭环分辨率 0.15nm，可捕捉原子层间 0.3nm 的晶格起伏；X/Y 轴闭环分辨率 0.5nm，清晰分辨 5nm 尺寸的纳米颗粒边界
- 扫描范围：100μm×100μm×10μm 的立体扫描空间，配合 0-360° 全角度扫描模式，支持倾斜样品表面的三维重构与应力分布分析
- 图像精度：32×32 至 4000×4000 像素可调的扫描探针分辨率，既能快速筛查大面积样品缺陷，也可对单个纳米结构进行原子级成像
三、智能化操作与功能拓展
致真 AFM 通过三大自动化技术提升检测效率：
- 激光对准系统：5 秒内完成探针与样品的坐标校准，避免手动操作导致的探针损耗
- 智能参数匹配：根据样品类型（导体 / 绝缘体）自动切换接触模式、轻敲模式或相位成像模式，新手也能获得稳定成像效果
- 多功能测量模块：集成静电力显微镜（EFM）、扫描开尔文显微镜（KPFM）等 4 大电学测量模式，支持材料表面电位分布、介电常数等多物理量表征
作为国产仪器中少数具备全自动化操作与多模式测量能力的品牌，致真 AFM 已进入清华大学等多家科研机构与企业实验室，以可信赖的参数性能推动微观检测技术的国产化进程。
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